Os Fornos de Atmosfera Inerte, também chamados de Fornos Anaeróbicos, são projetados para tratamento térmico usando gases não oxidantes, como nitrogênio, em um ambiente de vedação, sendo adequados para tratamento térmico sob atmosfera de baixa concentração de oxigênio.
Descrição
A série Inert Atmosphere Oven é usada na fabricação de semicondutores para cozimento de pré-tratamento de wafers de silício, arsenieto de gálio, niobato de lítio, vidro antes do revestimento PR, cozimento de filme duro após revestimento PR e cozimento em alta temperatura após o desenvolvimento; Também é adequado para departamentos de produção e pesquisa científica, como display eletrônico de cristal líquido, LCD, CMOS, IS e laboratórios; também pode ser usado para secagem, processamento térmico, envelhecimento e outros testes de alta temperatura de itens não voláteis, não inflamáveis e não explosivos.
Parâmetros principais
►Parâmetros técnicos
Capacidade: Personalizado conforme produtos
Faixa de temperatura: Ambiente+50°C ~ 250°C
Conteúdo de oxigênio: ≤50ppm
Uniformidade de temperatura: ±2,5%
Taxa de aceleração: controlável
Entrada de nitrogênio: Φ8
Fluxo de nitrogênio: 0-240L/min * 2 canais
►Estrutura
. Forno interior: Fabricado em aço inoxidável e soldado sem costura com gás argônio.
. Hermeticamente selado: A câmara é selada para reduzir os níveis de oxigênio.
. Estrutura de entrada de ar: Permite que gases não oxidantes preencham a câmara.
. Analisador de O2: Ajuste com precisão os níveis de oxigênio entre 0,5 ~ 21%
► Sistema de controle de temperatura
Controlador de temperatura inteligente JAPAN RKC, programas e configuração de valor fixo, ajuste automático AT, correção de deslocamento e retenção de desligamento.
► Convecção de ar forçado
O duto de ar patenteado no sistema de circulação de ar quente pode ajustar automaticamente a uniformidade da temperatura.
Recursos para fornos anaeróbicos (inertes)
► Estúdio de aço inoxidável hermeticamente selado para evitar a entrada de atmosfera externa
► Use gás inerte nitrogênio para tratamento térmico anaeróbico
► Medidor de vazão e manômetro estão equipados
► Dispositivos de segurança multiproteção
Opções
► Controlador programável PLC+7”
► Alarme de luz intermitente de três cores
► Limitador de temperatura excessiva
► Dispositivos de segurança manuais
Por que escolher fornos de atmosfera inerte?
Hoje em dia, os materiais de fiação nos circuitos mudaram do alumínio para o cobre com menor resistividade. Portanto, quando tratadas termicamente em um forno de secagem normal, as peças de cobre podem oxidar, causando defeitos. Além disso, o envelhecimento a 250 graus C também é realizado para verificar se os dados gravados na memória flash foram excluídos devido à eletromigração e se as partes do relevo estão oxidadas, portanto, o teor de oxigênio deve ser reduzido para <100 ppm. Este forno anaeróbico foi desenvolvido para atender a essas demandas.
Aplicativo
Os fornos de atmosfera inerte são usados principalmente para cura de cola BPO/cola PI/cola BCB, IC (wafer, CMOS, Bumping, TSV, MENS), FPD, componentes eletrônicos de alta precisão e outros materiais em um ambiente de baixo oxigênio para testes de secagem e envelhecimento .
